Micro LED高精度磨边Track线

用于半导体硅片/玻璃基板激光切割之后进行高精度倒角磨边、清洗、检测。

商品名称： Micro LED高精度磨边Track线

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产品描述

摘要说明

用于半导体硅片/玻璃基板激光切割之后进行高精度倒角磨边、清洗、检测。

设备特性

– 具有稳定的微米级加工能力

– 崩边小

– 设备安全性好

技术参数

基本参数		参数值
磨边	Tact time	≤300s
	直线度	＜5μm
	Crack/chip	玻璃≤10μm；硅片≤5μm
	倒角范围	20-30μm
	倒角精度	≤±5μm
清洗	清洗效果	目视无mura，水痕，脏污，灰尘
	Tact Time	≤240s
	清洗介质	DIW+清洗剂+CDA（N2）
检测	相机检测精度	±5μm
	检测能力	漏检率≤0.3%，过检率≤0.1%（漏检率=漏检数量/投入数量；过检率=过检数量/投入数量）
	算法可编辑能力	1. 所有检测参数需开放至软件UI，可自主修改设定。（包含算法参数，卡控阈值，判等参数等） 2. 所有不良Code，不良等级，等级优先级可自主设定
	Tact Time	≤300s

福拉特公司专注于半导体与显示湿法工艺制程装备的研发与制造，始终致力于推动自主创新。我们秉持对技术的追求，希望以中国的创造力量，推动全球半导体显示装备行业的进步。同时，我们承担着助力中国半导体显示装备产业提升实力，进而在全球舞台上展现其优势的重要使命。为了实现这一目标，我们积极探索半导体及显示装备的前沿技术，对于国家当前面临的关键技术挑战，我们也全力以赴进行技术攻关与突破。

关键词:

Single清洗机

Single清洗机 | 槽式清洗 | 药液浓度在线检测仪器

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