显影液稀释供液/回收/浓度管理系统

本设备系列主要用于半导体/FPD行业显影液稀释/回收/控制。

商品名称：显影液稀释供液/回收/浓度管理系统

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产品描述

摘要说明

本设备系列主要用于半导体/FPD行业显影液稀释/回收/控制。

稀释系统：将25%TMAH稀释为2.38%或0.5%浓度药液;

回收系统：去除回收液中PR与碳酸盐，纯化回收液;

控制系统：精准控制药液浓度等。

设备特性

–稳定准确的量测/控制效果

–高效的回收效果

技术参数

基本参数	参数值
TMAH量测精度	0.001%
TMAH控制精度	±0.005%
PR浓度控制精度	设定值±0.01Abs
PR去除率	≥90%
碳酸盐去除率	≥80%
TMAH回收率	≥90%

福拉特公司专注于半导体与显示湿法工艺制程装备的研发与制造，始终致力于推动自主创新。我们秉持对技术的追求，希望以中国的创造力量，推动全球半导体显示装备行业的进步。同时，我们承担着助力中国半导体显示装备产业提升实力，进而在全球舞台上展现其优势的重要使命。为了实现这一目标，我们积极探索半导体及显示装备的前沿技术，对于国家当前面临的关键技术挑战，我们也全力以赴进行技术攻关与突破。

关键词:

Single清洗机

Single清洗机 | 槽式清洗 | 药液浓度在线检测仪器

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