Sorter&EFEM

该设备主要用于圆片/玻璃扫描、对位、翻转、分批、合批等功能，配备ID Reader，能够读取晶圆的ID信息。内部洁净空间，保证产品无污染可根据客户需求与主设备对接，定制EFEM满足需求

商品名称： Sorter&EFEM

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产品描述

摘要说明

设备特性

– 可对应3-12英寸各类材质的玻璃、晶圆

– 可对应Foup、FOSB、SMIF、Open Cassette

– 可对应OHT系统和AGV系统相配套

– 可对应MES系统

– 满足用户的各种应用方式(夹持、伯努利、翻转、真空吸附)

– 可根据客户的需求定制各类型排列方式

技术参数

基本参数	参数值
节拍	≥300片/h
基板进出片的精度	≤±0.3mm
洁净等级	Class 1

福拉特公司专注于半导体与显示湿法工艺制程装备的研发与制造，始终致力于推动自主创新。我们秉持对技术的追求，希望以中国的创造力量，推动全球半导体显示装备行业的进步。同时，我们承担着助力中国半导体显示装备产业提升实力，进而在全球舞台上展现其优势的重要使命。为了实现这一目标，我们积极探索半导体及显示装备的前沿技术，对于国家当前面临的关键技术挑战，我们也全力以赴进行技术攻关与突破。

关键词:

Single清洗机 | 槽式清洗 | 药液浓度在线检测仪器

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