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模组Chip清洗机

本设备主要用于硅基OLED产品wafer切割后的单片产品清洗。配合常压水清洗、兆声波清洗、二流体水清洗、UV照射、毛刷和喷洒清洗剂等手段,可有效去除产品表面颗粒、有机物、切割碎屑等杂质。
  • 商品名称: 模组Chip清洗机
  • 产品描述
  • 摘要说明

    本设备主要用于硅基OLED产品wafer切割后的单片产品清洗。配合常压水清洗、兆声波清洗、二流体水清洗、UV照射、毛刷和喷洒清洗剂等手段,可有效去除产品表面颗粒、有机物、切割碎屑等杂质。

    设备特性

    –提供持续稳定的液体压力输出,以保证工艺效果和产能

    –液体流量、压力以及温度等参数控制的稳定性,为产品的一致性提供了有力支撑

    技术参数

    基本参数 参数值
    产品尺寸 3*3mm-60*60mm
    产品类型 硅基OLED
    颗粒去除效率 ≥99%@≥10μm:≥95%@1-10μm
    清洗效果 清洗后产品无裂片、划伤、表面无脏污、无残水等异常

     

福拉特公司专注于半导体与显示湿法工艺制程装备的研发与制造,始终致力于推动自主创新。我们秉持对技术的追求,希望以中国的创造力量,推动全球半导体显示装备行业的进步。同时,我们承担着助力中国半导体显示装备产业提升实力,进而在全球舞台上展现其优势的重要使命。为了实现这一目标,我们积极探索半导体及显示装备的前沿技术,对于国家当前面临的关键技术挑战,我们也全力以赴进行技术攻关与突破。

关键词:

Single清洗机 | 槽式清洗 | 药液浓度在线检测仪器

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