国内首台Micro-OLED量产MASK CLEAN设备正式交付
发布时间：
2024-03-26
2024年3月19日，江苏福拉特自动化设备有限公司(简称“福拉特”)自主研发的国内首台Micro-OLED量产MASK CLEAN设备正式交付。
NEWSMASK CLEAN设备主要用于高精密OLED蒸镀MASK清洗工艺，配合清洗化学药液、高压/常压水清洗、超声/兆声波清洗、二流体水清洗和真空/红外干燥等手段，可有效去除掩膜版表面有机物、金属、金属氧化物及其它微粒杂质，同时确保清洗后无损伤、mura、水痕、锈斑、脏污等产品不良。
MASK CLEAN
NEWS设备由MASK 接口(含上料自动FOUP、下料自动STK接口)、多尺寸产品兼容翻转单元、读码单元、高精度悬侧传送单元、超洁净清洗单元、真空干燥单元及附属药液供应系统、自动化安全控制系统单元(二氧化碳灭火系统)、宏观检查单元等组成。设备整机结构设计合理，符合SEMI行业标准，结合先进成熟的工艺及控制技术，保证系统具有良好的动态品质。设备控制系统执行元件精度高，可靠性好，响应速度快，功能模式多样全面，提供持续稳定的流体温度、压力、声压能量输出，以保证最佳的工艺效果和产能需求，为高精密Micro-OLED掩膜版产品清洗的“多”、“快”、“好”、“省”提供了强有力支撑。
MASK CLEAN
NEWS福拉特不负以“科技创新，强大中国半导体显示装备产业”的使命，继湿法药液浓度检测系统、Single清洗、去胶、槽式超(兆)声波清洗、显影液稀释系统等设备后，成功自主研发国内首台Micro-OLED量产MASK CLEAN设备。该设备是福拉特在湿法类设备领域中取得的一项新突破，标志着福拉特作为“国内第一家半导体&显示湿法制程装备一站式系统供应商”的战略布局取得了里程碑式的发展。
MASK CLEAN
NEWS福拉特自主研发的多尺寸兼容精密掩膜版清洗机，作为国内首台Micro-OLED量产MASK CLEAN设备，产品打破了国外垄断，进一步促进了国内Micro-OLED行业发展进程。
江苏福拉特半导体设备有限公司
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